Datum

Noch ohne Termin

Zeit

Noch ohne Termin

Ort

Noch ohne Termin

Wissenschaftlicher Leiter

Prof. Dr. Helmut Hummel, FH Regensburg

Standardpreis

€ 560,00

Preis für AMA-Mitglieder

€ 460,00

Freie Plätze

ja

Diese Veranstaltung hat noch keinen fixen Termin.

Mikromechanik

Die Basis von MEMS/MOEMS

 

 

Für wen?

Vertriebsingenieure, Technische Einkäufer und Entwickler von/für Sensoren für mechanische Größen.
Dozenten und Anwender aus dem Hochschulbereich, die ihre Kenntnisse vertiefen wollen.
Hersteller und Anwender von Sensorelementen und Messsystemen für mechanische Messgrößen.

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Die Seminar-Inhalte:

Einführung

Grundlegende Mikrotechnologien

• Schichterzeugung
• Lithographie
• Millerindizes von kubischen Einkristallen zur Kennzeichnung von Richtungen und Flächen

Anisotrope Ätztechniken: Nasschemisches anisotropes Ätzen

• Ätzmedien
• Anisotropieeffekt
• Ätzapparatur
• Richtungsabhängige Ätzraten bei (100)- und (110)-Wafern
• Temperaturabhängigkeit der Ätzraten
• 3-D-Ätzgeometrien bei konkaven Ecken: Gräben, Membranen, Brücken (Sensorbeispiele)
• Spezielle Grabengeometrien auf (110)-Silicium (Sensorbeispiele)
• Unterätzung konvexer Strukturen (Sensorbeispiele)
• Kompensationsstrukturen für konvexe Ecken
• Elektrochemischer Ätzstop

Anisotrope Ätztechniken: Plasmaunterstütztes anisotropes Tiefenätzen von Silicium

• Ätzen über Seitenwandpassivierung
• Inductive Coupled Plasma ICP (mit Experiment)
• Kryo-Ätzprozess
• Polymerseitenwandpassivierung
• "Bosch"-Prozess

Anodisches Bonden: Waferscale-Bonden von Silicium mit Glas

• Physikochemische Grundlagen
• Apparative Ausführung
• Spezielle Elektroden
• Anwendung

Ätzsimulation mit SIMODE

• Grundlegendes Verfahren zur 3-D-Ätzsimulation anisotroper Nassätzungen
• Ausgewählte Simulationsbeispiele an konkaven und konvexen Strukturen

Abschlussdiskussion

 

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Was lernen Sie?

Sie erhalten einen fundierten Überblick über die Technologien zur Erzeugung mikromechanischer Sensoren. Sie gewinnen so einen tieferen Einblick in die mikromechanische Strukturierung, welche die Basistechnologie für miniaturisierte Sensoren ist.

Das Seminar bietet sowohl Kennern der Materie als auch (Quer-)Einsteigern die naturwissenschaftlich-technische Basis, um die speziellen mikromechanischen Fertigungsprozesse zu verstehen und Rückschlüsse auf die Machbarkeit ziehen zu können.

Es ist außerdem eine gute Grundlage für die Seminare "Druckmesstechnik", "Optische Sensorik - MOEMS", "MEMS-Intertialsensoren" und "Praxisseminar Mikrosensorherstellung".

 

Worum geht es?

Druck- und Beschleunigungssensoren sind die Sensortypen, die mit mikromechanischen Prozessen heute am häufigsten gefertigt werden. Dazu kommen noch Anwendungen in der Erfassung optischer, chemischer und biologischer Größen.

Das Seminar behandelt, ausgehend von den grundlegenden Technologien zur Mikrostrukturierung, spezielle Ätzprozesse zum Erzeugen 3-dimensionaler Grundformen und beleuchtet ihre geometrischen sowie thermischen Abhängigkeiten.

Während die Ausbildung konkaver Ätzgeometrien zum Teil bekannt ist, ist die Unterätzung konvexer Maskierungen und ihre Beherrschung mittels Kompensationsstrukturen meist fremd. Daher räumt das Seminar diesen einen breiten Raum ein: vom grundsätzlichen Verständnis über unterschiedliche Ausprägungen und deren Vor- und Nachteile bis zu ihrer Simulation.

Das Seminar zeigt die Hintergründe eines elektrochemischen Ätzstopps und das Potenzial dieser Technik zum gezielten Einstellen spezieller Sensoreigenschaften auf.

Mittels plasmaunterstütztem Tiefenätzen werden beliebige Maskengeometrien und damit neue 3D-Strukturen mit senkrechten Flanken realisierbar. Die physikalische Basis und die daraus resultierenden, unterschiedlichen Trockenätzverfahren werden erläutert und deren Einsatzbereiche vom technologischen als auch wirtschaftlichen Standpunkt aus diskutiert.

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Die Teilnehmerzahl ist auf 20 begrenzt, um u.a. einen intensiven Dialog der Teilnehmer untereinander sowie mit den Referenten zu ermöglichen.

Die im Flyer ausgewiesene Anmeldefrist von 2 Wochen zum Termin ist als Orientierungshilfe zu verstehen. Sofern noch Plätze verfügbar sind, ist eine Anmeldung auch später noch möglich.