Datum

Noch ohne Termin

Zeit

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Ort

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Wissenschaftlicher Leiter

Dr. Michael Scholles, Fraunhofer Institut Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Standardpreis

€ 450,00

Preis für AMA-Mitglieder

€ 400,00

Freie Plätze

ja

Diese Veranstaltung hat noch keinen fixen Termin.

Optische Sensorik - MOEMS

Grundlagen und Anwendungen

Für wen?

Ingenieure, Entwickler, Konstrukteure, Physiker, Projektleiter und -mitarbeiter, die mit der Anwendung von Optosensorik und Integration in signalverarbeitende Systeme befasst sind.
Hersteller von Mikrokomponenten und Sensorelementen, die Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) einsetzen bzw. über deren Einsatz nachdenken.
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Die Seminar-Inhalte:

Begrüßung, Einführung und Zielsetzung

Bauelemente

• Einführung in MOEMS
  • Was sind MOEMS?
  • Technologie
• MOEMS-Scanner
  • Micro-Scanner-Spiegel
  • Antriebsprinzipien
  • Herstellungsverfahren
  • Bauelementeparameter
• Flächenlichtmodulatoren
  • Architektur
  • CMOS-Integration
  • Kippspiegelmatrizen
  • Phasenmodulierende Matrizen

Anwendungsszenarien

• Bilderfassung
  • Scannende Bildaufnahme
  • Abgrenzung "Scanned Imaging" <-> Kamerasysteme
  • Systemarchitekturen
• Wellenfrontkorrektur
  • Prinzip der Adaptiven Optik
  • Shack-Hartmann-Sensoren
  • Systeme für Adaptive Optik
  • Anwendungsmöglichkeiten
• Einführung Spektroskopie
  • Scanning Gratings
  • Anforderungen NIR-Spektroskopie
  • Miniaturisierte Spektrometer
  • Prinzip "Hyperspectral Imaging"

Praxisbeispiele

• Endoskopie mittels MOEMS-Scanner
• 3D-Vermessung
• Spektroskopie und Spectral Imaging für die Lebensmittelindustrie
• Prüfung und Identifizierung von medizinisch wirksamen Stoffen mittels Mikrospektrometer

Perspektiven

Abschlussdiskussion

 

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Was lernen Sie?

Sie können Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) für Ihre eigenen Anwendungen bewerten, zielgerichtet auswählen und anwenden.

Sie können optische sensorische Systeme unter Berücksichtigung der Eigenschaften der verwendeten MOEMS spezifizieren.

Dazu lernen Sie Eigenschaften unterschiedlicher MOEMS und deren mögliche Anwendungen kennen, wobei vertieft auf Anwendungen in der Spektroskopie und verwandte Themen eingegangen wird.

Das Seminar "Mikromechanik - Die Basis von MEMS/MOEMS" bietet (Quer-)Einsteigern eine gute Grundlage für dieses Seminar.

 

Worum geht es?

Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme (MEMS) spielen in vielen Anwendungsfeldern eine bedeutende Rolle, so z. B. in der Automobiltechnik als Beschleunigungs- und Drucksensor. Mikro-Opto-Elektro-Mechanische-Systeme (MOEMS) werden vor allem zur Bilderzeugung in Projektoren genutzt. Sie bieten aber auch für eine Reihe von sensorischen Applikationen Vorteile. Durch ihren Einsatz lassen sich für viele Aufgaben entweder erstmals Lösungen schaffen bzw. können entsprechende Systeme kompakter oder preiswerter realisiert werden.

Das Seminar führt zunächst in die Eigenschaften unterschiedlicher MOEMS ein. Dabei zeigt es die physikalischen und technischen Grenzen für Bauelementparameter und der daraus abgeleiteten optischen Kenngrößen, unter Einbeziehung der technologischen Möglichkeiten zu ihrer Herstellung auf. Des Weiteren ergeben sich daraus Anforderungen an das Packaging und die Einsatzbedingungen, wie z. B. die maximale Lichtleistung.

Dies schafft die Voraussetzung für ein tieferes Verständnis der möglichen Anwendungen derartiger optischer MEMS in der Sensorik. An ausgewählten Anwendungsbeispielen zeigen wir, welche zusätzlichen Möglichkeiten gegenüber dem Stand der Technik sich durch die Nutzung von MOEMS ergeben. Ein Schwerpunkt liegt dabei in Systemen zur Bilderfassung einschließlich von Methoden, die die optische Aufl ösung erhöhen, sowie in der Spektroskopie. Des Weiteren behandeln wir, wie sich spezielle Eigenschaften der optischen MEMS auf Optik und weitere Aspekte der Systemintegration auswirken.

Das Beispiel eines Mikrospektrometers in einer medizinisch-pharmazeutischen Anwendung stellt abschließend die praktische Relevanz der vorgestellten Möglichkeiten dar.

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Die Teilnehmerzahl ist auf 20 begrenzt, um u.a. einen intensiven Dialog der Teilnehmer untereinander sowie mit den Referenten zu ermöglichen.

Die im Flyer ausgewiesene Anmeldefrist von 2 Wochen zum Termin ist als Orientierungshilfe zu verstehen. Sofern noch Plätze verfügbar sind, ist eine Anmeldung auch später möglich.