Praxisseminar Mikrosensorherstellung
Einführung in Basistechnologien zur Herstellung von Mikrosensoren mit praktischen Arbeiten im Reinraum
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Für wen?
(Quer)Einsteiger, Entwickler, Fertigungsingenieure, Vertriebsingenieure, Entscheider, Projektleiter und -mitarbeiter, die die Fertigungsgrundlagen der Mikrosensorik nicht nur abstrakt-theoretisch kennen lernen wollen, sondern auch unmittelbare „hands-on“ Erfahrungen in Reinraum und Laboren gewinnen möchten.
Hersteller von Mikrokomponenten und Sensorelementen, die Mikrosystemtechnik einsetzen oder dies planen.
Was lernen Sie?
Sie können das Potenzial und die Beschränkungen der Mikrosystemtechnik einschätzen.
Dazu erwerben Sie fundiertes Wissen über Anwendungen, Märkte und grundlegende Fertigungstechniken der Mikrosystemtechnik. Sie haben die Gelegenheit, Methoden und Basistechnologien der Mikrosystemtechnik selbst auszuprobieren, um die erworbenen theoretischen Grundlagen mit eigenen „hands-on“-Erfahrungen zu vertiefen.
Worum geht es?
Mikrosensoren bilden eine wesentliche Basis der aktuellen Entwicklungen in den Bereichen Automobil und Zulieferer, Maschinenbau, Kommunikations- und Nachrichtentechnik sowie Bio-/Medizintechnik. Erst der massive Einsatz miniaturisierter Sensoren hat technische Lösungen und neue Anwendungsfelder eröffnet, welche heute die Wettbewerbsfähigkeit der deutschen Wirtschaft begründen und darüber hinaus unser tägliches Leben prägen.
Mikrosensoren haben sich aufgrund ihrer Leistungsfähigkeit bei kleinen Dimensionen und den vergleichsweise geringen Kosten zu einer unverzichtbaren Grundlage unserer modernen Industriegesellschaft entwickelt. Die Schlüsseltechnologie für die Entwicklung von Mikrosensoren ist die Mikrosystemtechnik. Will man die Entwicklung, den Einfluss und die Randbedingungen der Mikrosensorik verstehen, muss man sich mit den Grundlagen der Mikrosystemtechnik auseinandersetzen.
Im Rahmen dieses zweitägigen Seminars werden Sie einen fundierten Einblick in Anwendungen, Märkte und grundlegende Fertigungstechniken der Mikrosystemtechnik erhalten. Sie lernen das Potenzial und die Beschränkungen der Mikrosystemtechnik einzuschätzen, wobei keine isolierten, theoretisch/abstrakten Grundlagen vermittelt werden, sondern das „Begreifen“ auch im wörtlichen Sinne unterstützt wird. Sie bekommen die Gelegenheit, Methoden und Basistechnologien der Mikrosystemtechnik selbst auszuprobieren, um die erworbenen theoretischen Grundlagen mit eigenen „hands-on“-Erfahrungen zu vertiefen. Hierzu werden Sie im modernen Reinraum der FH Kaiserslautern im Rahmen kleiner Gruppen mit Fertigungsprozessen wie Lithografi e, Dünnschichttechnik und Chipkontaktierung sowie modernen Messmethoden vertraut gemacht. Durch die eigenhändige praktische Tätigkeit sowie den intensiven Austausch mit den Praktikern im Labor wird oft unmittelbar klar, was in einer reinen Theorieveranstaltungen nur als abstraktes Bild vermittelt werden könnte.
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Die Inhalte im Detail
Tag 1: Theorie
Ankunft, Begrüßung, Zielsetzung
- Einführung Mikrosensoren und -aktoren
- Erfolgsfaktor Mikrosystemtechnik
- Grundkonzepte, Anwendungsbeispiele, Wirtschaftlichkeitsbetrachtung
Reinraum
- Anlagen und Aufbau
- Reinraumtechnik: Lüftungs- und Filteranlagen, Medienversorgung
Basisprozesse der Mikrotechnik I
- Dünnschichttechnik, Lithografie, Aufbau- und Verbindungstechnik
Abends: Informelles Treffen
Tag 2: Praxis
Basisprozesse der Mikrotechnik II
- Einführung in die Volumen- und Oberflächenmikromechanik
- Anwendungsbeispiel: Herstellung eines piezoresistiven Drucksensors
Hands-on-Kurse in kleinen Gruppen
- Lithografie & Dünnschichttechnik
- Die- & Drahtbonden
- Optische und Elektronen-Mikroskopie (REM); optische und mechanische Profilometrie
Abschlussdiskussion
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Die Teilnehmerzahl ist auf 20 begrenzt, um u.a. einen intensiven Dialog der Teilnehmer untereinander sowie mit den Referenten zu ermöglichen.
Die im Flyer ausgewiesene Anmeldefrist von 2 Wochen zum Termin ist als Orientierungshilfe zu verstehen. Sofern noch Plätze verfügbar sind, ist eine Anmeldung auch später möglich.
Datum
Noch ohne Termin
Zeit
Noch ohne Termin
Ort
Noch ohne Termin
Wissenschaftliche Leitung
Standardpreis
1050.00 EUR
Preis für AMA-Mitglieder
950.00 EUR
Freie Plätze
ja
